GLV テクノロジー
Grating Light Valve (GLV®）は、シリコンチップ上に「リボン」と呼ばれるシリコン窒化膜の微細な構造体を数千個の規模で形成した高性能の空間光変調器です。リボンのたわみを電気的に制御することにより、GLVはプログラム可能な回折格子として機能し、他では実現できない解像度、スピード、正確さで、調光、変調、レーザー光のスイッチングを可能にします。
GLVは微小電気機械システム (MEMS) に分類され、非晶質シリコン窒化膜 (Si3N4) – 硬度、耐久性、化学安定性において強固な特性を持つ高温セラミック– から作られています。各リボンの幅は2-4umで、長さは100-300umです。
リボンはアルミ薄膜で覆われており、反射板と電極の両方の機能を合わせ持っています。リボンは“共通” 電極の上に張られており、CMOSドライバーから制御電圧がリボンに供給されると、静電気により基盤方向にたわみます。制御電圧が無くなると、シリコン窒化膜固有の高い張力により元の状態に戻ります。