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回折MEMSの信頼性は高いのですか？

当社のMEMSはきわめて高い信頼性を持っています。リボンが変位する量は非常に小さく（～0.2ミクロン）可動部に他の部材と接触（衝突）する箇所はありません。さらに、GLVは高出力レーザーが照射された状態でも長期間にわたり安定したままです。私たちのMEMSは1兆回以上の繰り返し変位を受けても疲労の兆候は見られません。